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◆ Z 轴装有数显弧形标尺，可以提供更大的测量范围和更高的分辨率，从而不必再依靠测量倍率。
◆可以应用数据分析系统(个人计算机和Formpak-1000 软件) 。
X轴 | 测量范围 | 100mm（CV-2100） | ||
分辨率 | 0.1μm | |||
测量方法 | 反射型线性编码器 | |||
驱动速度 | 0.2,1mm/s和手动 | |||
测量速度 | 0.02-5mm/s | |||
测量方向 | 向后 | |||
直线度 | 2.5μm /100mm(CV-2100) *当X轴在水平方向上 | |||
指示精度 （20℃） | ±（2.5+0.02L）μm L为驱动长度（mm） | |||
倾斜范围 | ±45°（CV-2000） | |||
Z1轴 | 测量范围 | 25mm（CV-1000）或40mm（CV-2000） | ||
分辨率 | 0.1μm（CV-2100系列） | |||
测量方法 | 弧形编码器 | |||
指示精度 （20℃） | ±（2.5+0.1H）μm） H为水平位置上的测量高度（mm） | |||
探针上下运作 | 弧形运动 | |||
探针方向 | 向下 | |||
测力 | 10-30mN | |||
跟踪角度 | 向上 | 77° | ||
向下 | 87° | |||
探针针尖 | 半径 | 25μm | ||
材料 | 硬质合金针尖 | |||
尺寸（LxH） | 745x450x885mm（CV-2000） | |||
基座材料 | 花岗岩（CV-2100） | |||
重量 | 主机 | 145.8kg（CV-2000M4) | ||
控制装置 | 14kg | |||
遥控箱 | 0.9kg | |||
电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | |||
能耗 | 150W仅限主机 | |||
Z2轴（立柱，仅用于CV-2100） | 立柱类型 | 电动（S4型）和手动（M4型） | ||
垂直行程 | 250mm（S4型）和320mm（M4型） | |||
分辨率 | 0.2um（S4型） | |||
检测方法 | ABSOLUTE线性编码器（S4型） | |||
驱动速度 | 0-5mm/s和手动 | |||
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性能参数
型号 | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
X1轴测量范围 | 50mm | 100mm | 100mm |
Z1轴测量范围 | 25mm | 40mm | 40mm |
Z2轴测量范围 | - | 250mm | 320mm |
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